半干法煙氣脫硫設備的工藝過程是鍋爐煙氣在入塔之前同脫硫劑（CaO和Ca（OH）2）混合后，進入脫硫塔，水霧從塔頂噴淋入塔，SO2、水和脫硫劑在脫硫塔內發生化學反應，脫硫劑與SO2的水溶液（即亞硫酸）反應生成亞硫酸鈣，亞硫酸鈣再氧化成硫酸鈣，即可脫除煙氣中的SO2。
半干法煙氣脫硫設備工藝融合了濕法、干法脫硫工藝的優點,具有廣闊的應用前景。半干法煙氣脫硫利用熱煙氣使Ca(OH)2吸收煙氣中的SO2，在反應生成CaO和Ca（OH）2的同時進行干燥過程，使最終產物為干粉狀。該工藝通常配合袋式除塵器使用,能提高10%～15%的脫硫效率。
1.旋轉噴霧干燥法
該方法是通過高速旋轉霧化器將吸收劑漿液霧化成細小霧滴,噴入吸收塔與煙氣形成比較大的接觸表面積，在氣液兩相中進行傳質、傳熱反應，生成亞硫酸鈣和部分硫酸鈣，達到脫硫的目的。脫硫效率在80%~85%，它的優點是流程簡單，占地面積小，投資較少，物廢水排出。缺點是技術要求高，吸收劑用量難以控制，生產物太細小不易除塵，設備腐蝕嚴重。
2.循環流化床法
該工藝原理是以將煙氣通入床料為脫硫劑的循環流化床內，使煙氣發生反應達到脫硫目的。主要是采用石灰石(CaCO3)和白云石(CaCO3˙MgCO3)為脫硫劑。通過脫硫劑的多次再循環,延長脫硫劑與煙氣的接觸時間,來提脫硫劑的利用率和脫硫效率，一般高達90%，并且占地面積少，投資小，運行費用低，適合老機組煙氣脫硫。
3.爐內噴鈣后增濕活化法
該方法是用石灰石等堿性鈣質吸收劑直接向鍋爐膛內高溫區噴入，經過煅燒后生成有高反應接觸面的許多CaO細小顆粒，在高速煙氣流的帶動下，顆粒物進入較低溫度區，在這里CaO顆粒不再結晶，在富氧狀態下吸收煙氣中的SO2，從而達到脫硫目的。該方法工藝簡單，設備投資費用和運行費用低，適合現有電廠改造，具有廣泛的應用前景，但其大缺點是對鍋爐有不利影響，引起爐內結焦、受熱面磨損。
